美國(guó)工藝設(shè)備供應(yīng)商Aviza表示，它的等離子增強(qiáng)的CVD系統(tǒng)取代了另一家競(jìng)爭(zhēng)者成為前五名高亮度LED制造商的供應(yīng)商。Aviza產(chǎn)品事業(yè)部的高級(jí)副總Kevin Crofton表示，下訂單的是位列全球前五的高亮度LED制造商。半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商Aviza技術(shù)公司重拾化合物業(yè)務(wù)，憑著大量的刻蝕和CVD設(shè)備訂單贏得重大的勝利。Aviza的Delta i2L等離子增強(qiáng)型CVD(PECVD)和Omega i2L刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)量高，正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)，可靠性好，工藝穩(wěn)定性更強(qiáng);目前正在客戶(hù)的批量級(jí)廠房中，準(zhǔn)備用于生產(chǎn)GaAs基和InGaN基LED。

　　Crofton說(shuō)，這家LED制造商既是現(xiàn)有設(shè)備也是Aviza舊型CVD設(shè)備的客戶(hù)，不過(guò)最近一筆訂單尤為重要，原因是Omega刻蝕設(shè)備現(xiàn)在被認(rèn)為是“創(chuàng)紀(jì)錄得工藝設(shè)備(PTOR)”。在沉積設(shè)備方面，Aviza是這家LED制造商針對(duì)PE-CVD應(yīng)用的新型供應(yīng)商。

　　這個(gè)訂單揭示了最近Aviza的策略上的變化，在DRAM這個(gè)殘酷的競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)業(yè)里，他們?cè)絹?lái)越注重比如III-V族、功率半導(dǎo)體、LED和MEMS等需要進(jìn)行薄膜生長(zhǎng)的市場(chǎng)，并已初期奏效。Crofton補(bǔ)充道，“僅僅在過(guò)去幾年內(nèi)，我們的產(chǎn)品組合已明顯偏向這些生長(zhǎng)市場(chǎng)”，據(jù)市調(diào)公司Strategies Unlimited表明，未來(lái)幾年HB-LED的年增長(zhǎng)率將達(dá)到20%。“只要這些市場(chǎng)仍在增長(zhǎng)，我們將憑著獲得認(rèn)可的產(chǎn)品迎頭趕上它們”。(編輯：CBE)