日本牛尾電機(jī)宣布已開(kāi)始供貨LED用曝光裝置，并成功開(kāi)發(fā)出了LED用激光剝離裝置。曝光裝置“UX4-LEDs FFPL 200”是“全球首款”(牛尾電機(jī))支持200mm晶圓的產(chǎn)品。而激光剝離裝置“UX4-LEDs LLO150”用于從藍(lán)寶石(Al2O3)基板上剝離氮化鎵(GaN)膜，實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石基板的重復(fù)利用時(shí)。

　　關(guān)于曝光裝置，牛尾電機(jī)曾于2010年11月發(fā)布了支持150mm晶圓的裝置，日本、韓國(guó)、臺(tái)灣以及中國(guó)大陸的大型LED廠商已應(yīng)用于量產(chǎn)線。此次的裝置沿襲了150mm晶圓裝置的平臺(tái)，同時(shí)配備了支持200mm晶圓的光學(xué)系統(tǒng)。由于采用了全域等倍曝光方式，因此不會(huì)像步進(jìn)曝光(Step and Repeat)方式那樣，吞吐量隨著晶圓直徑的擴(kuò)大而降低，繼續(xù)保持了120張/小時(shí)的吞吐量。分辨率為3μm，重疊精度方面，正反面均為1μm?？蛇x配反面疊加功能。

　　激光剝離裝置方面，此次配備了高穩(wěn)定性激光器、在曝光裝置中開(kāi)發(fā)的紫外光學(xué)技術(shù)及搬運(yùn)技術(shù)，能夠兼顧高生產(chǎn)效率及穩(wěn)定的品質(zhì)。支持150mm基板。