BluGlass定制前端生產(chǎn)MOCVD系統(tǒng)生長多量子阱架構
摘要： BluGlass已經(jīng)定制了一款前端生產(chǎn)ThomasSwanMOCVD系統(tǒng)，可在一次生長中生產(chǎn)19x2英寸(或5x4英寸或高達8英寸)的LED晶圓。該系統(tǒng)已經(jīng)完成定制，并能夠生長多量子阱(MQW)架構，這種架構可使LED實現(xiàn)更高亮度里程碑。
BluGlass已經(jīng)定制了一款前端生產(chǎn)ThomasSwanMOCVD系統(tǒng)，可在一次生長中生產(chǎn)19x2英寸(或5x4英寸或高達8英寸)的LED晶圓。該系統(tǒng)已經(jīng)完成定制，并能夠生長多量子阱(MQW)架構，這種架構可使LED實現(xiàn)更高亮度里程碑。該里程碑涉及到通過在MOCVD用低溫遠程等離子化學氣相沉積(RPCVD)在p型GaN上生長MQW。
氮化銦鎵(InGaN)量子阱要在后續(xù)的MOCVD生長p型GaN工藝步驟的漸升溫度中降解，這會導致LED的亮度降低。采用RPCVD替代MOCVD生長p型GaN層可降低MQW的降解，因此可實現(xiàn)更高亮度LED。
BluGlass首席技術官IanMann博士表示，該系統(tǒng)的關鍵在于同時具有MOCVD和RPCVD，這兩種技術的結合使得光輸出更好。
最近，BluGlass收到了第二個MOCVD系統(tǒng)，該系統(tǒng)將被安裝和重配置為RPCVD系統(tǒng)。第二個系統(tǒng)將進一步加速蓋工的RPCVD開發(fā)，并有助于使RPCVD技術的晶圓沉積能力從目前的7x2英寸提升到19x2英寸(或8英寸)晶圓。
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