據(jù)了解，隨著紫外LED和Mini/Micro LED等新興產(chǎn)業(yè)如火如荼地發(fā)展，近兩年來，國內(nèi)外相關(guān)大企紛紛加購重要的MOCVD設(shè)備，很大程度推動(dòng)了MOCVD設(shè)備的發(fā)展并刺激了市場需求。

4月16日晚間，MOCVD設(shè)備制造商中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）公布了亮眼的2019年成績單。報(bào)告期內(nèi)，該公司已開發(fā)出用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設(shè)備，并且正在開發(fā)用于Mini/Micro LED的新型MOCVD設(shè)備。

中微公司主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要為集成電路、LED芯片、MEMS等半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造企業(yè)提供刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備及其他設(shè)備。其中，MOCVD設(shè)備主要應(yīng)用于藍(lán)綠光及紫外LED外延片和功率器件的生產(chǎn)，目前已在行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)。

報(bào)告期內(nèi)，中微公司實(shí)現(xiàn)營收19.47億元，同比增長18.77%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤1.89億元，同比增長107.51%。

值得注意的是，中微公司去年完成開發(fā)適用于深紫外LED生長的高溫MOCVD設(shè)備，可承載18片2寸外延片，主要應(yīng)用于深紫外LED、紫外殺菌、工業(yè)水凈化等領(lǐng)域。

中微公司指出，MOCVD設(shè)備采購金額一般占LED生產(chǎn)線總投入的一半以上，是LED外延片制造中最重要的設(shè)備。目前MOCVD設(shè)備主要用于氮化鎵基及砷化鎵基半導(dǎo)體材料外延生長，其中氮化鎵基LED MOCVD主要用于生產(chǎn)氮化鎵基LED的外延片。

除用于制造通用照明和背光顯示的藍(lán)光LED，MOCVD設(shè)備還可制造應(yīng)用于高端顯示的Mini LED和Micro LED、用于殺菌消毒和空氣凈化的紫外LED、應(yīng)用于電力電子的功率器件，隨著這些新興領(lǐng)域的應(yīng)用拓展及逐步推廣，氮化鎵基MOCVD設(shè)備的市場規(guī)模有望進(jìn)一步擴(kuò)大。

報(bào)告顯示，中微公司的MOCVD設(shè)備已在全球氮化鎵基LED設(shè)備市場中占據(jù)領(lǐng)先地位。其中，用于制造深紫外光LED的MOCVD設(shè)備已在行業(yè)領(lǐng)先客戶端驗(yàn)證成功。同時(shí)，用于Mini LED生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備的研發(fā)工作正在有序進(jìn)行中，并計(jì)劃推動(dòng)相關(guān)驗(yàn)證。此外，制造Micro LED、功率器件等需要的MOCVD設(shè)備也在開發(fā)中。