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三星開發(fā)全球首例使用單晶硅TFT的有機EL面板

上傳人:伊藤元昭/記者

上傳時間: 2007-05-29

瀏覽次數(shù): 30

  三星開發(fā)的面板為240×320像素,亮度為350cd/m2,對比度為1萬比1。像素間隔為51μm×153μm,像素電路由2個TFT和1個電容器組成。TFT的載流子遷移率為p通道90cm2/Vs、n通道120cm2/Vs,與其它有機EL用TFT相比,非常高。目前,該公司還在利用此次開發(fā)的制造方法試制1.9英寸TFT液晶面板。

  在此之前,單晶硅TFT的使用尚無先例,其原因是單晶硅在制造面板的玻璃底板上成膜非常困難。在此次開發(fā)中,三星使用了美國康寧(Corning)開發(fā)的向玻璃底板轉(zhuǎn)印單晶硅的技術(shù)“SiOG”。該技術(shù)首先要向單晶硅晶圓表面之下較淺的部位注入氫離子。然后把晶圓粘貼到康寧制造的“EAGLE”玻璃底板上,在從粘貼后的底板的內(nèi)外兩側(cè)施加電壓的同時進行熱處理。這樣,在氫離子轉(zhuǎn)變?yōu)闅浞肿拥耐瑫r,進行了離子注入的部分的結(jié)晶會受到損傷,取下晶圓時,單晶硅膜能夠殘留在晶圓表面。三星表示,“用粘貼方式制造的TFT粘著性良好,可靠性方面也無需擔心”。另外,此次的方法還可用于大型面板用底板,應用范圍最少可涵蓋至第4代底板。

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