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LED-光阻劑

上傳人:Tom

上傳時(shí)間: 2010-07-19

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  光阻,亦稱為光阻劑,是一個(gè)用在許多工業(yè)制程上的光敏材料。像是光刻技術(shù),可以在材料表面刻上一個(gè)圖案的被覆層。

  光阻有兩種,正向光阻(positive photoresist)和負(fù)向光阻(negative photoresist)

  正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會(huì)溶于光阻顯影液,而沒(méi)有照到光的部份不會(huì)溶于光阻顯影液。

  負(fù)向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會(huì)溶于光阻顯影液,而沒(méi)有照到光的部份會(huì)溶于光阻顯影液。

  正型光阻劑及負(fù)型光阻劑主要是應(yīng)用在LED芯片制造的金屬電極蒸鍍Lift-off制程中,由于LED電極所使用的金屬材料不易經(jīng)由蝕刻的方式制作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸鍍過(guò)程中不會(huì)連續(xù)性滿布在光阻劑上,再用去光阻劑的方式將未遭金屬布蓋的光阻部份拔起,完成金屬電極的圖案。

  半導(dǎo)體制程常用的正型光阻劑,在光學(xué)曝光方式下,光阻劑上層接受能量較下層光阻高,使得正型光阻劑成像大部份圖形為上窄下寬,無(wú)法經(jīng)一次曝光方式即得到Overhang的圖形,而負(fù)型光阻劑的成像恰好與正型光阻劑圖像相反,所以負(fù)型光阻劑是lift-off制程的最佳選擇。

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