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生產型GaNMOCVD設備控制系統(tǒng)軟件設計

上傳人:胡曉宇、何華云

上傳時間: 2013-08-14

瀏覽次數: 88

作者胡曉宇、何華云
單位中國電子科技集團公司第四十八研究所、中國電子科技集團公司第四十八研究所
分類號TN304.05;TP311.52
發(fā)表刊物《電子工業(yè)專用設備》
發(fā)布時間2006年

1 引言

  金屬有機化合物化學氣相外延(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是制造超薄層微結構(低維半導體材料)最常用、成本較低、生產量大的制備方法之一,有著廣闊的市場前景。國際上MOCVD 技術已經相當成熟,形成了產業(yè)化規(guī)模(6 片、19 片、24 片及30 片以上等)。國內由于種種原因發(fā)展非常有限,只在研究所和大學實驗室進行相關的研發(fā)工作,尚未形成產業(yè)化,而生產型的GaN MOCVD 設備完全依賴進口。

......

  1、引言

  2、GaN MOCVD 控制系統(tǒng)結構

  3、國外部分控制系統(tǒng)簡介

  4、GaN MOCVD 控制系統(tǒng)自主開發(fā)關鍵技術

  5、國內MOCVD 計算機控制系統(tǒng)研究進展

  6、MOCVD 控制技術發(fā)展趨勢

  7、結束語

  8、致謝

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