標準GaN外延生長流程
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上傳人：ledth/整理 上傳時間： 2012-11-05 瀏覽次數(shù)： 196 |
大綱
?、?/strong> 高溫除雜
㈡ 長緩沖層
㈢ 退火
㈣ 長GaN單晶
?、?/strong> 長N型GaN
㈥ 長多量子阱MQW
?、?/strong> 長P型GaN
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