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LED外延片的生長(zhǎng)工藝介紹

上傳人:未知

上傳時(shí)間: 2009-10-13

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  硅晶柱的長(zhǎng)成,首先需要將純度相當(dāng)高的硅礦放入熔爐中,并加入預(yù)先設(shè)定好的金屬物質(zhì),使產(chǎn)生出來的硅晶柱擁有要求的電性特質(zhì),接著需要將所有物質(zhì)融化后再長(zhǎng)成單晶的硅晶柱,以下將對(duì)所有晶柱長(zhǎng)成制程做介紹:

  長(zhǎng)晶主要程式:

  1、融化(MELt Down)

  此過程是將置放于石英坩鍋內(nèi)的塊狀復(fù)晶硅加熱制高于攝氏1420度的融化溫度之上,此階段中最重要的參數(shù)為坩鍋的位置與熱量的供應(yīng),若使用較大的功率來融化復(fù)晶硅,石英坩鍋的壽命會(huì)降低,反之功率太低則融化的過程費(fèi)時(shí)太久,影響整體的產(chǎn)能。

  2、頸部成長(zhǎng)(Neck Growth)

  當(dāng)硅融漿的溫度穩(wěn)定之后,將方向的晶種漸漸注入液中,接著將晶種往上拉升,并使直徑縮小到一定(約6mm),維持此直徑并拉長(zhǎng)10-20cm,以消除晶種內(nèi)的排差(dislocation),此種零排差(dislocation-free)的控制主要為將排差局限在頸部的成長(zhǎng)。

  3、晶冠成長(zhǎng)(Crown Growth)

  長(zhǎng)完頸部后,慢慢地降低拉速與溫度,使頸部的直徑逐漸增加到所需的大小。

  4、晶體成長(zhǎng)(Body Growth)

  利用拉速與溫度變化的調(diào)整來遲維持固定的晶棒直徑,所以坩鍋必須不斷的上升來維持固定的液面高度,于是由坩鍋傳到晶棒及液面的輻射熱會(huì)逐漸增加,此輻射熱源將致使固業(yè)介面的溫度梯度逐漸變小,所以在晶棒成長(zhǎng)階段的拉速必須逐漸地降低,以避免晶棒扭曲的現(xiàn)象產(chǎn)生。

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