1引言

　　近年來(lái)，氮化鎵基發(fā)光二極管迅猛發(fā)展，它具有高亮度、低能耗、長(zhǎng)壽命的優(yōu)良特點(diǎn)，是發(fā)展固態(tài)照明技術(shù)的關(guān)鍵元器件。目前在GaN基LED中，氧化銦錫由于其高電導(dǎo)率和高透光率，已成為L(zhǎng)ED生產(chǎn)工藝中透明導(dǎo)電薄膜的主要材料。

　　然后ITO在使用過(guò)程中也存在一些缺點(diǎn)，包括：

　　1、銦源材料的價(jià)格持續(xù)上漲，ITO變得日以昂貴，并且制備方法費(fèi)用高昂;

　　2、ITO薄膜的柔韌性比較差，彎曲時(shí)容易破碎和斷裂，限制了器件的應(yīng)用范圍;

　　3、ITO對(duì)酸性環(huán)境敏感;

　　4、ITO盡管在可見(jiàn)光區(qū)域有高達(dá)85%的透射率，但是在紫光區(qū)域有很強(qiáng)的光吸收，光透射率降低到40%一下，導(dǎo)致紫外LED的光提取效率大幅度降低。研究表明，ITO的透射率在紫外波段從80%下降至約10%。

　　石墨烯自2004年由英國(guó)曼徹斯特大學(xué)首次成功制備并報(bào)道后，以其新奇的結(jié)構(gòu)和性能引起了科學(xué)家的廣泛關(guān)注。石墨烯獨(dú)特的二維平面結(jié)構(gòu)賦予了它優(yōu)良的力學(xué)、熱血、電學(xué)、光學(xué)性質(zhì)。研究表明，石墨烯具有良好的機(jī)械性能，楊氏模量約為1000GPa，載流子遷移率達(dá)到2100000每平方厘米/V·S，熱導(dǎo)率約為5000W/m`k。從紫外到近紅外范圍內(nèi)具有高達(dá)97%的透射率，同事，自然界碳元素豐富，原料成本不到ITO的1%，且無(wú)毒無(wú)害，環(huán)境友好。